創意無極限，儀表大發明，今天為大家介紹一項國家發明授權專利——磁傳感器芯片，磁傳感器及其制作方法，該專利由公司申請，并于2017年2月22日獲得授權公告。
內容說明。
本發明涉及一種磁傳感器芯片，磁傳感器及其制作方法。
發明背景。
磁傳感器即是借助敏感單元對磁變化的敏感作用，將敏感單元的磁性能變化轉換成電信號，再通過測量電信號獲得對應地磁場，電流，應力應變，溫度或光等物理量。
隨著技術的進步，具有低功耗，體積小，響應快，分辨率高，穩定性好，可靠性高等諸多優點的磁傳感器芯片作為磁傳感器的核心部件，而且，磁傳感器芯片使得磁傳感器在磁信息存儲，自動化，物聯網以及智能電網等領域展示了廣闊的應用前景，表現出十分優異的性能。
由于制作工藝的不均勻，磁敏感薄膜單元11a，11b的阻值不能完全對稱，使得磁敏感薄膜單元11a，11b的磁性能存在差異，從而導致磁傳感器的的磁滯現象嚴重，即磁滯較大且不同，霍爾電流傳感器。
另外，磁敏感薄膜單元11a，11b的電阻值會隨環境的溫度的變化而變化，而且變化量因制作工藝的不均勻性而不同，即磁敏感薄膜單元11a和磁敏感薄膜單元11b的溫漂差異大，這對磁傳感器的穩定性及溫漂特性造成了巨大的影響，同時降低了磁傳感器的靈敏度。
發明內容。
本發明要解決的技術問題就是針對磁傳感器機中存在的上述缺陷，提供一種磁傳感器芯片，磁傳感器及其制作方法，其減小甚至消除了磁滯現象，而且提高了溫漂特性和敏度。
為解決現有技術中存在的上述缺陷，本發明提供一種磁傳感器芯片，包括至少一對相互獨立的磁敏感薄膜，在所述磁敏感薄膜的端部設有用于電連接所述磁敏感薄膜的第一電極，在每一對所述磁敏感薄膜中，至少一個所述磁敏感薄膜通過所在端的第一電極與一可調電阻電連接，所述磁敏感薄膜，所述第一電極和所述可調電阻電連接構成惠斯通電橋電路，所述可調電阻用于調節所述可調電阻所在惠斯通電橋電路的支路的總電阻，以使霍爾電壓傳感器得惠斯通電橋電路中對臂電阻相互平衡。
其中，包括一對所述磁敏感薄膜，該對所述磁敏感薄膜的釘扎方向相反，借助所述第一電極將所述磁敏感薄膜電連接成惠斯通半橋電路。
1，測量精確，最高可達0.3%。
2，測量過程無機械接觸，無磨損，可靠性高。
3，可現場外部校準零點，滿量程。
4，對于不同尺寸，不同體積的油箱的油位校準，可根據需要現場截斷，適用范圍寬。
5，智能化數字信號輸出，可與上位機通訊。
6，防爆性能高，可根據防爆要求制作成本安型，隔爆型產品，適用于各種危險場所。
7，耐沖擊抗震動，壽命長：內部采用微型隧道技術，裝有獨特避震器，輕松應。
對顛簸路況，（傳統為浮子杠桿結構，顛簸路況極易致命損壞）。
8，傳感器頂部為螺紋結構可安裝法蘭，對于大型車則有標準尺寸的一體化機構，無需變動油路和電路接口，可直接替換安裝，安裝維護簡便，產品可滿足高溫，高壓及振動場合需要，無需定期維護與標定。
北京華智專業生產電流傳感器|電壓傳感器|電流變送器|電壓變送器|功率變送器，保質五年，價格合理，http://m.aimilia.cn/。 |
